一、净化车间的规格
净化车间的规格一般适用于美国联邦规格No.209B。这个规格对净化间的环境要素即空气洁净度、温湿度、室内压等都进行了规格化规定。但是，伴随着洁净化程度的不断提高，美国联邦规格进行了改版，其内容主要是以洁净度进行分类。最新版已成为No209E，名称也进行了变更。No.209E的级别表示是把0.5um以上的颗粒数为10x个/m3，把X表示成级别，同时加上米制M的意思，表示成M3.5等等。在表7里表示的是美国联邦规格No.209B，表8表示的是美国联邦规格No.209E。在日本，相应的规格是JIS B9920。JIS9920的级别表示是把0.1um以上的颗粒数规定为10的x立方个，用Y表示级别。表9、图2表示了JIS B 9920的级别的主要内容。
表7 美国联邦规格No.209B
净化间级别
粒子
室内压力Pa
mmH2O
温度
湿度
气流
换气次数
照度
粒径
um
累计粒子数
范围
（℃）
推荐值（℃）
差
（℃）
高
（%）
最低
%
误差
%
100
1000
10000
100000
≥0.5
≥0.5
≥5
≥0.5
≥5
≥0.5
≥5
100
1000
10
10000
65
100000
700
+13
（+1.3）
以上
19.4—
25
22.2
±2.8
特别时为±1.4
45
30
±10
特别时为±5
层流方式
0.45m/s
±0.1m/s
非层流方式
≥20次/h
1080--1620
表8 美国联邦规格No.209E的洁净度级别分类
级别上限值是各级别名。上限值用指定粒径以上的浓度（单位堆积粒子数）表示。*
级别名称**
级别上限值
粒径
0.1um
粒径
0.2um
粒径
0.3um
粒径
0.5um
粒径
5um
SI***
English
Unit
(m3)
(ft3)
(m3)
(ft3)
(m3)
(ft3)
(m3)
(ft3)
(m3)
(ft3)
MI
M1.5
M2
M2.5
M3
M3.5
M4
M4.5
M5
M5.5
M6
M6.5
M7
1
10
100
1000
10000
100000
350
1240
3500
12000
35000
--
--
--
--
--
--
--
--
9.91
35.0
99.1
350
991
--
--
--
--
--
--
--
--
75.7
265
757
2650
7570
26500
75700
--
--
--
--
--
--
2.14
7.50
21.4
75.0
214
750
2140
--
--
--
--
--
--
30.9
106
309
1060
3090
10600
30900
--
--
--
--
--
--
0.875
3.00
8.75
30.0
87.5
300
875
--
--
--
--
--
--
10.0
35.3
100
353
1000
3530
10000 35300
100000
353000
1000000
3530000
10000000
0.283
1.00
2.83
10.0
28.3
100
283
1000
2380
10000
28300
100000
283000
--
--
--
--
--
--
--
247
618
2470
6180
24700
61800
--
--
--
--
--
--
--
7.00
17.5
70.0
175
700
1750
*上表中表示的级别上限值仅仅是为了级别分类而定义的，并不表示实际的粒径分布值。
**针对中间级别的浓度上限值，用如下的公式进行计算。
粒子直径/m3=10M(0.5/d)2.2，其中，M : SI单位里的级别名称，D :粒径（um）
***国际单位（Systeme International d’Unites的缩写）
图1，209E的洁净度级别（图略）图中的●标记表示评价洁净度级别用的对象粒子。
（）内数值是用English unit表示级别。
图2，JIS B 9920的洁净度级别的上限浓度
表9，JIS B 9920主要内容
表10，美国航空宇宙局规格主要内容
生物净化间级别
粒子
生物粒子
室内
压力
Pa
mmH2O
温度℃
湿度
%
气流
换气次数
照度
Lx
粒径
um
累计
粒子数
个/ft
(个/l)
浮游量
个/ft
(个/l)
沉降量
100
10000
100000
≥0.5
≥0.5
≥5
≥0.5
≥5
100
（3.5）
10000
（350）
65（2.3）
100000
（3500）
700(25)
0.1
（0.0035）
0.5
（0.0176）
2.5
（0.0884）
1200
（12900）
6000
（64000）
30000
（323000）
+13
（+1.3）
以上
推
荐
值
40
—
50
层流方式
0.45m/s
±0.1m/s
非层流式
≥20次/h
1080—
1620
二、不同用途所要求的洁净度
