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净化车间洁净度级别如何确定及计算分析


一、净化车间的规格

净化车间的规格一般适用于美国联邦规格No.209B。这个规格对净化间的环境要素即空气洁净度、温湿度、室内压等都进行了规格化规定。但是,伴随着洁净化程度的不断提高,美国联邦规格进行了改版,其内容主要是以洁净度进行分类。最新版已成为No209E,名称也进行了变更。No.209E的级别表示是把0.5um以上的颗粒数为10x个/m3,把X表示成级别,同时加上米制M的意思,表示成M3.5等等。在表7里表示的是美国联邦规格No.209B,表8表示的是美国联邦规格No.209E。在日本,相应的规格是JIS B9920。JIS9920的级别表示是把0.1um以上的颗粒数规定为10的x立方个,用Y表示级别。表9、图2表示了JIS B 9920的级别的主要内容。

 

净化车间洁净度

 

表7  美国联邦规格No.209B

净化间级别

 

粒子

 

室内压力Pa

mmH2O

 

温度

 

湿度

 

气流

换气次数

 

照度

 

粒径

um

 

累计粒子数

 

范围

(℃)

 

推荐值(℃)

 

(℃)

 

(%)

 

最低

%

 

误差

%

 

100

 

1000

 

10000

 

100000

 

0.5  

 

0.5

5

0.5

5

0.5

5

 

100

 

1000

10

10000

65

100000

700

 

+13

(+1.3)

以上

 

19.4—

25

 

22.2

 

 

 

±2.8

特别时为±1.4

 

45

 

30

 

 

 

±10

特别时为±5

 

 

层流方式

0.45m/s

±0.1m/s

非层流方式

20次/h

 

 

1080--1620

 

 

 

表8  美国联邦规格No.209E的洁净度级别分类

级别上限值是各级别名。上限值用指定粒径以上的浓度(单位堆积粒子数)表示。*

级别名称**

 

级别上限值

 

粒径

0.1um

 

粒径

0.2um

 

粒径

0.3um

 

粒径

0.5um

 

粒径

5um

 

SI***

 

English

Unit

 

(m3)

 

(ft3)

 

(m3)

 

(ft3)

 

(m3)

 

(ft3)

 

(m3)

 

(ft3)

 

(m3)

 

(ft3)

 

MI

M1.5   

M2

M2.5

M3

M3.5

M4

M4.5

M5

M5.5

M6

M6.5

M7

 

 

1

 

10

 

100

 

1000

 

10000

 

100000

 

350

1240

3500

12000 

35000  

--

--

--

--

--

--

--

--

 

9.91

35.0

99.1  

350

991

--

--

--

--

--

--

--

--

 

75.7

265

757

2650

7570

26500  

75700

--

--

--

--

--

--

 

2.14

7.50

21.4

75.0

214

750   

2140

--

--

--

--

--

--

 

30.9

106

309

1060

3090

10600  

30900

--

--

--

--

--

--

 

0.875

3.00   

8.75

30.0

87.5

300

875

--

--

--

--

--

--

 

10.0

35.3

100

353

1000

3530

10000  35300 

100000

353000

1000000

3530000

10000000

 

0.283

1.00

2.83

10.0

28.3

100

283

1000

2380

10000

28300

100000  

283000

 

--

--

--

--

--

--

--

247

618

2470

6180

24700  

61800

 

--

--

--

--

--

--

--

7.00

17.5

70.0

175

700

1750  

 

*上表中表示的级别上限值仅仅是为了级别分类而定义的,并不表示实际的粒径分布值。

**针对中间级别的浓度上限值,用如下的公式进行计算。

粒子直径/m3=10M(0.5/d)2.2,其中,M : SI单位里的级别名称,D :粒径(um)

***国际单位(Systeme International d’Unites的缩写)

 

图1,209E的洁净度级别(图略)图中的●标记表示评价洁净度级别用的对象粒子。

()内数值是用English unit表示级别。

图2,JIS B 9920的洁净度级别的上限浓度

 

表9,JIS B 9920主要内容         

 

净化间级别表

 

 

表10,美国航空宇宙局规格主要内容

生物净化间级别

 

粒子

 

生物粒子

 

室内

压力

Pa

mmH2O

 

 

温度℃ 

 

湿度

%

 

气流

换气次数

 

 

照度

Lx

 

粒径

um

 

累计

粒子数

个/ft

(个/l)

 

浮游量

个/ft

(个/l)

 

沉降量

 

 

100

 

10000

 

 

 

100000

 

≥0.5

 

 

≥0.5

 

≥5

 

≥0.5    

 

≥5

 

100

(3.5)

 

10000

(350)

65(2.3)

 

100000

(3500)

700(25)

 

0.1

(0.0035)

 

0.5

(0.0176)

 

 

2.5

(0.0884)

 

1200

(12900)

 

6000

(64000)

 

 

30000

(323000)

 

 

 

+13

(+1.3)

以上

 

 

 

 

 

 

40

—   

50

 

 

 

层流方式

0.45m/s

±0.1m/s

非层流式

≥20次/h

 

1080—

1620

 

 

二、不同用途所要求的洁净度
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